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Panasonic日本晶圆定位传感器分类,松下定位传感器专业经营

  • 所属分类:Panasonic日本晶圆定位传感器分类,松下定位传感器专业经营

  • 发布日期:2017-9-16 0:00:00
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详细介绍

Panasonic日本晶圆定位传感器分类,松下定位传感器专业经营
 上海乾拓贸易有限公司
 企业QQ:2880626087
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 手机;17321017802(微信)
 邮箱;17321017802@163.com
 地址:上海市嘉定区江桥嘉涌路99弄6号713室
内置放大器的小巧、轻盈型
尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm,质量约为75g的小巧、轻盈型。
有受光方向反射面的端面形状的检测面
检测角度12.5±5°(注4)
(注5):斜向插入8英寸晶圆时的中央附近的间距。检测带定位边的晶圆时,对于避开定位边的检测位置,
晶圆间距变得更窄,检测信号无法分解,变为连续的宽幅信号。
?输入OFF:断开或4?8V
?输入ON :0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
背面教导:按本体灵敏度设定按钮运行
检测灵敏度切换:本体开关2bit、4级或外部输入的2级选择式
使用环境温度
0?+55℃(注意不可结露)、存储时:?10?+70℃
(注4):晶圆旋转时,定位边的最大跳动角度约为±20°。
安全性卓越的LED式
以往使用激光的激光式定位传感器,激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员,十分危险。
M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。
亦可检测玻璃晶圆
M-DW1以反射光的位置来检测,不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
频率10?500Hz 双振幅3mm X,Y和Z方向各2小时
耐冲击
耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回
外壳:ABS及SUS301、透镜: 丙烯
(注3):对于经研磨后厚度变薄的晶圆,如果其端面呈刀刃状,可能会因光线不能从检测面向受光方向反射而难以检测。
可用切换开关选择入光时ON/非入光时ON
反应时间 500μs以下
工作状态指示灯
电缆 0.15mm2 5芯橡皮电缆,长300mm
电缆延长 0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m
本体重量:约75g
(注1):无指定的测量条件为使用环境温度=+20℃。
(注2):检测8英寸以下的晶圆时,可能会因晶圆间距、定位边或表面的状态等而影响检测。
晶圆间距  间距3mm以上时,可按通常灵敏度进行分离检测(注5)
适用晶圆盒

Panasonic日本晶圆定位传感器分类,松下定位传感器专业经营
SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒
电源电压  12?24V DC±10% 脉动P-P10%以下
使用环境湿度
35?85%RH、存储时: 35?85%RH
使用环境照明度
白炽灯:受光面照明度3,000lx以下、荧光灯:受光面照明度1,500lx以下
耐电压
AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间
绝缘电阻
所有电源连接端子与外壳之间,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
橙色LED(输出ON时亮起)
稳定指示灯
绿色LED(稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯)
定时器功能
装备约2ms固定断开延迟定时器 有效/无效切换式
?投光停止:断开或4?8V
?投光:0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)
可检测涂氮晶圆
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质,吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。
因此,对于使用单波长激光的传感器,可能会因光全被吸收而无法检测。
而LED光源的光具有一定波长段,即使氮化膜晶圆也可准确检测。
0.5ms的高速反应
实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置检测
利用反射光量检测时,反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件,通过反射光位置而非反射光量进行检测。
因此,受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
可从四个方向引出电缆
传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。

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